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01背景隨著芯片向更小的線寬遷移,元器件對污染和缺陷的敏感性變得更強。與此同時,我們知道從沙子到芯片,要在工廠經過100多道歷時1個多月的不同工序。在工廠環境中,任何一環帶入污染物都會對晶圓造成不可逆轉的損傷。在污染控制方面,未來幾年半導體制造業將面臨多重挑戰02FFU潔凈車間凈化系統循環圖對環境污染特別敏感的行業,生......
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